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电感耦合等离子体
电感耦合等离子体(,缩写:ICP)是一种通过随时间变化的磁场电磁感应产生电流作为能量来源的等离子体源。 分类. 如图2,总共有三种不同的ICP供能装置。 应用. ICP源的用途著有要四种:
电感耦合等离子体
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